ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線圈接地方式外，與
發(fā)射光譜中使用的基本相同。所使用的
質(zhì)量分析器、離子檢測器和
數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)又與四極桿
GC-MS儀器相類似。質(zhì)量分析器多采用
四極桿質(zhì)譜計，也有采用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場質(zhì)譜計、
飛行時間質(zhì)譜計等。該技術(shù)的特點：靈敏度高；速度快，可在幾分鐘內(nèi)完成幾十個元素的定量測定；譜線簡單，干擾相對于光譜技術(shù)要少；
線性范圍可達7～9個
數(shù)量級；樣品的制備和引入相對于其他質(zhì)譜技術(shù)簡單；既可用于元素分析，還可進行
同位素組成的快速測定；測定精密度(
RSD)可到0.1%
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